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张兴(北京大学教授)

张兴,于1965年8月出生于山东平邑。1986毕业于南京大学物理系,取得理学学士学位。之后考入陕西微电子学研究所计算机器件与设备专业研究生,分别于1989年和1993年获得工学硕士和博士学位。同年进入北京大学微电子学研究所博士后流动站,在中国科学院院士王阳元教授指导下工作。

1996年到香港科技大学电机与电子工程系做访问学者,在IEEEFellow、工学院院长PingK.Ko教授指导下工作。1996年9月返回北京大学微电子学研究所。现为北京大学微电子学研究所教授、副所长以及北京大学软件与微电子学院院长。

近年来,他主要致力于小尺寸MOS器件物理与结构、CMOS集成电路工艺与设计技术、新型纳米半导体器件和集成电路等方面的研究。先后主持了20余项973、863、国家自然科学基金、国家重点科技攻关、国家科技预研等国家级科研项目,并与Motorola、Fujitsu等公司开展了多项国际合作项目,均出色地完成了任务。在2000年~2005年期间担任国家重点基础研究计划(973)项目“系统芯片中新器件新工艺基础研究”的首席科学家,取得的成果得到了同行和验收专家组的好评。自2006年开始担任国家重点基础研究计划(973)项目“纳米尺度硅集成电路中器件与工艺基础研究”的首席科学家,目前项目进展顺利。

现为北京大学教授、博士生导师,国家自然科学基金委杰出青年基金获得者,973项目首席科学家,中国电子学会半导体与集成技术分会副主任,中国计算机学会微机专业委员会主任,科学通报、半导体学报、北京大学学报(自然科学版)等期刊的编委。已发表学术论文200余篇,申请发明专利100余项,其中获得授权40余项,获国家技术发明二等奖、北京市科学技术一等奖、教育部科技进步一等奖等多项国家和省部级奖励。

1999-

北京大学,教授

1996.09-1999.08

北京大学,副教授

1996.01-1996.08

香港科技大学,访问学者

1995.06-1995.12

北京大学,讲师

1993.06-1995.05

北京大学,博士后

1989.04-1993.04

陕西微电子研究所,获博士学位

1986.09-1989.04

陕西微电子研究所,获硕士学位

1982.09-1986.07

南京大学物理系,获学士学位

《微电子学概论》 本科生/研究生课程 该课程被评为北京市精品课程,编写的教材《微电子学概论》获教育部高等学校优秀教材二等奖

《半导体器件与工艺》 研究生课程

主持了三个国家973项目:

超低功耗高性能集成电路器件与工艺基础研究(2011-2015年)

纳米尺度硅集成电路器件与工艺基础研究(2006-2011年)

系统芯片(System On Chip)中新器件新工艺基础研究(2000-2005年)

获国家技术发明二等奖、北京市科学技术一等奖、教育部科技进步一等奖等多项国家和省部级奖励。

国家自然科学基金委杰出青年基金获得者

973项目首席科学家

中国电子学会半导体与集成技术分会副主任

中国计算机学会微机专业委员会主任

科学通报、半导体学报、北京大学学报(自然科学版)等期刊的编委

小尺寸MOS器件物理与结构、CMOS集成电路工艺与设计技术、新型纳米半导体器件和集成电路 。

教学方面,讲授的《微电子学概论》被评为北京市精品课程,编写的教材获教育部优秀教材二等奖。

论著方面,共发表学术论文200余篇,出版著作4部,获信息产业部科技进步二等奖、教育部优秀青年教师奖等8项省部级奖励。

张兴同志自1993年博士后入站以来,先后主持了国家重大基础研究规划(973)项目(担任项目的首席科学家)、863、国家自然科学基金、国家重点科技攻关以及国际合作等十余项科研项目,均出色完成了任务,总科研经费达数千万元。在这期间,他主要致力于小尺寸MOS器件、CMOS工艺和SOI技术的研究,取得了一系列富于创新的科研成果,其中主要的如下:

(1) 全面研究了CoSi2栅对器件辐照特性的影响,首次得出了采用CoSi2自对准栅可以提高器件抗总剂量辐照能力的结论。

(2) 开发了系列深亚微米SOI器件模型和CMOS/SOI电路模拟软件,在国内首次实现了深亚微米CMOS/SOI电路的模拟。该软件已销售到香港城市大学、航天科技集团等多家单位。(3) 在国内第一个研制出沟长为0.15mm的新型凹陷沟道SOI器件。(4) 提出并研制了SOI退火推进型栅控混合管(DGCHT)新结构,改善了以前GCHT击穿电压较低、Early效应较大等问题,获发明专利。 (5) 研制出门延迟时间为55ps的薄膜全耗尽51级CMOS/SOI环振电路,为国内目前最高水平。(6) 首次提出了大剂量氧离子注入过程中溅射产额与注入能量的简洁关系式,完成了一个快捷准确的SIMOX厚度计算程序POISS。(7) 主持开发了抗辐照CMOS/SOI全套工艺,并已经转让到信息产业部47所、北京宇翔电子有限公司等。(8) 主持开发的抗辐照CMOS/SOI专用集成电路已应用于中国工程物理研究院、航天工业总公司等 。

共出版著作2部,发表学术论文120余篇;获得信息产业部科技进步二等奖、国家科技攻关重大成果奖等奖励7项;获发明专利1项。 在教学方面新开一门本科生学校主干基础课《微电子学概论》,主讲一门研究生课,能够将最新的科研成果和国内外的进展有机地融入课堂教学中,得到了同学们的好评。


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